NSC11/Al BS
輕敲模式/非接觸模式用探針,每個基片兩邊各有一個三角形懸臂,共振頻率分別為60和330kHz,彈性系數(shù)分別為3.0和48N/m,針尖曲率半徑<10nm,背面鍍鋁反射層。
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