NSC35/Al BS
輕敲模式/非接觸模式用探針,每個(gè)基片有三個(gè)長(zhǎng)方形懸臂,共振頻率分別為210、315和150kHz,彈性系數(shù)分別為7.5、14.0和4.5N/m,針尖曲率半徑<10nm,背面鍍鋁反射層。
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