研究級全自動橢偏儀UVISEL 2
UVISEL2是一款完全革新的全自動光譜型橢偏儀。繼承并發(fā)展了經(jīng)典機型UVISEL的高準確性、高靈敏度和高穩(wěn)定性等技術(shù)特點的同時,配備革新的可視系統(tǒng),多達8個尺寸微光斑選項,最小達35×85μm2,適用于所有薄膜材料研究領(lǐng)域。是目前市場上獨一無二的機型。
產(chǎn)品特點:
完全自動化設(shè)計,自動對焦、校正
全新光路、電路設(shè)計,測量精度更高,速度更快
50KHz高頻PEM相調(diào)制技術(shù),測量光路中無運動部件
雙光柵光譜儀系統(tǒng),雜散光抑制水平高
8個尺寸微光斑,專利可視技術(shù)
自動平臺樣品掃描成像
自動量角器:變角范圍35°- 90°,全自動調(diào)整,最小步長0.01°
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