原子力顯微鏡NT-MDT NTEGRA

NTEGRA平臺是一個革命性的技術(shù)概念，在擁有所有SPM技術(shù)：原子力/磁力/靜電力/表面電勢/導(dǎo)電原子/掃描電容/壓電力/納米刻蝕等功能的同時，還能配備近場光學(xué)顯微鏡/共聚焦拉曼/外加磁場/超聲原子力/納米壓痕等功能。Prima則是這個平臺中的基礎(chǔ)SPM，可以在此基礎(chǔ)上根據(jù)科 研需求提供多達(dá)40 中SPM 功能，其中的每種功能都有一套在其專業(yè)領(lǐng)域有著杰出表現(xiàn)的獨特配置?？蛇x擇配備獨一無二的雙掃描結(jié)構(gòu)可以將掃描范圍擴展最大到200x200um。

技術(shù)參數(shù)：
在大氣環(huán)境下：
掃描隧道顯微鏡/ 原子力顯微鏡(接觸 +半接觸+非接觸)/橫向力顯微鏡/相位成像/力調(diào)制/力譜線/粘附力成像/磁力顯微鏡/靜電力顯 微鏡/掃描電容顯微鏡/開爾文探針顯微鏡/擴展電阻成像/納米壓痕/刻蝕: 原子力顯微鏡(電壓+力)/壓電力模式/超聲原子力/外加磁場/溫度控制/氣氛控制等功能。
在液體環(huán)境下：
原子力顯微鏡(接觸+半接觸+非接觸)/橫向力顯微鏡/相位成像/力調(diào)制/粘附力成像/力譜/刻蝕

測量頭部：              AFM和SPM可選配液相模式和納米壓痕測量頭
掃描方式：              樣品掃描、針尖掃描、雙掃描
樣品尺寸：              樣品掃描：直徑40mm，厚度15mm。針尖掃描：樣品無限制
XY樣品定位裝置：       移動范圍5×5um，精度5um
掃描范圍：              90×90×9um（帶傳感器/閉環(huán)控制）可選配低電壓模式實現(xiàn)原子級分辨
XY方向非線性度：        ≤0.5%（帶傳感器/閉環(huán)控制）
Z方向噪音水平
(帶寬1000Hz時的RMS值)： 閉環(huán)控制掃描器（典型值0.04nm，最大0.06nm）
光學(xué)顯微系統(tǒng)：          配備高數(shù)值孔徑物鏡后，分辨率可由3um提升至1um
樣品溫度控制：         室溫~300℃