技術指標
l LED 光源波長:505 nm
l 測量耗時:5到10 秒
l Z 方向測量范圍:250μm,分辨率:2nm
l X/Y 方向,平臺移動范50mmX50mm,(馬達驅動),分辨率:0.3μm
l 物鏡:10X、20X、50X、100X
功能及特性
l 檢測樣品表面形貌
l 測量樣品的高度、深度以及起伏角度(納米級分辨率)聯系人:嚴春偉
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