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接觸式計(jì)量校準(zhǔn)片

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問(wèn)題：當(dāng)原子力顯微鏡做樣品成像時(shí)，很難知道表面是否準(zhǔn)確的表征？也許會(huì)受針尖的頂端破碎或鈍影響。
破損或鈍的探針針尖會(huì)使測(cè)量結(jié)果有顯著差異，如粗糙度或表面結(jié)構(gòu)等等。
要確保用戶(hù)在使用探針時(shí)要有適當(dāng)?shù)奶崾荆仨氈苯尤拥襞f探針或定期使用SEM電鏡檢測(cè)，這兩種方法都非常的浪費(fèi)探針或耗時(shí)。

一個(gè)SPM樣品可以在原子力顯微鏡的針尖條件下快速、簡(jiǎn)便的測(cè)定。即使在一個(gè)單一的掃描線(xiàn)上，也使之間的差異變得明顯。因此，tipcheck提供了一個(gè)快速簡(jiǎn)便的方法來(lái)比較和分類(lèi)原子力顯微鏡探針不同的針尖、形狀和清晰度。
您可以很容易的檢查您的AFM探針是否完好，是否已經(jīng)磨損或破損，從而不需要掃描使用該探針掃描整個(gè)樣品圖像或做SEM電鏡掃描檢測(cè)。此外，該樣品的完美自動(dòng)提示和針尖表征軟件在市場(chǎng)上可用。
BudgetSensors Tipcheck樣品是一種非常耐磨的薄膜涂層，沉積在硅芯片上。這層薄膜涂層呈顆粒狀，尖銳的納米機(jī)構(gòu)使得它能在AFM探針針尖反向成像。該Tipcheck模具的尺寸為5*5mm。
下面的圖片顯示了使用不同探針測(cè)試tipcheck樣本之間的比較，掃描尺寸為1*1um，高度為100nm。根據(jù)下面的形貌圖你可以找到一個(gè)具有代表性的斷面圖像。

為什么我們需要高度校準(zhǔn)塊？
原子力顯微鏡已經(jīng)成為一個(gè)有價(jià)值的工具，不僅用于可視化，而且也可以用于進(jìn)行精確的納米和微米尺度測(cè)量。為了能使原子力顯微鏡最精確的測(cè)量，原子力顯微鏡需要正確的校準(zhǔn)。
HS-20MG / HS-100MG / HS-500MG作為budgetsensors 高度標(biāo)準(zhǔn)介紹作為增加相應(yīng)，能負(fù)擔(dān)原子力顯微鏡的高品質(zhì)校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)需求。
HS-20MG / HS-100MG / HS-500MG是一個(gè)尺寸為5*5mm且陣列在硅基底上的二氧化硅結(jié)構(gòu)。芯片結(jié)構(gòu)的制造工藝保證了良好的均勻性。這將確保你的AFM系統(tǒng)Z軸方向校準(zhǔn)方便可靠。
校準(zhǔn)區(qū)域位于芯片的中心，使用原子力顯微鏡的光學(xué)系統(tǒng)很容易找到。校準(zhǔn)結(jié)構(gòu)的臺(tái)階高度為20nm（HS-20MG）100nm（HS-100MG）和500nm（HS-500MG）每一個(gè)芯片的精確值都標(biāo)識(shí)在盒子標(biāo)簽上。芯片上集成了不同形狀和間距的結(jié)構(gòu)陣列。在1*1mm的大區(qū)域內(nèi)包含了間距為10um的方柱孔。
在500*500um的小區(qū)域內(nèi)包含了XY方向間距為5um的圓柱形孔。
除了Z軸校準(zhǔn)，這樣的設(shè)計(jì)也讓XY方向有了更大的校準(zhǔn)范圍（40~100um以?xún)?nèi)），而且，校準(zhǔn)片的結(jié)構(gòu)對(duì)稱(chēng)性使得校準(zhǔn)原子力顯微鏡時(shí)不需要旋轉(zhuǎn)和調(diào)整校準(zhǔn)片XY刻度的方向。

HS-20MG / HS-100MG / HS-500MG用優(yōu)質(zhì)導(dǎo)電環(huán)氧樹(shù)脂粘在一個(gè)12毫米金屬圓盤(pán)上，并將其用作裝運(yùn)的材料。

技術(shù)資料
橫向尺寸		幾何結(jié)構(gòu)
5*5mm		在11mm平方內(nèi)排列間距為10um的方形孔柱在500500um平方內(nèi)XY方向排列間距為5um的圓形孔柱
臺(tái)階高度
HS-20MG	~20nm
HS-100MG	~100nm
HS-500MG	~500nm
每個(gè)校準(zhǔn)片盒子標(biāo)簽上都標(biāo)有明確數(shù)值

為什么需要XYZ標(biāo)定校準(zhǔn)？
為了使原子力顯微鏡更精準(zhǔn)的測(cè)量，必須進(jìn)行正確校準(zhǔn)。因此，更精確的校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)才能實(shí)現(xiàn)原子力顯微鏡更好的測(cè)量結(jié)果。在這方面，校準(zhǔn)的標(biāo)定標(biāo)準(zhǔn)允許原子力顯微鏡系統(tǒng)的最精確校準(zhǔn)。

我們的解決方案：
CS-20NG是一種先進(jìn)的XYZ標(biāo)定校準(zhǔn)，使校準(zhǔn)精度降低到納米級(jí)。它的特點(diǎn)是在一個(gè)5*5mm的硅芯片上陣列二氧化硅結(jié)構(gòu)。確保整個(gè)芯片結(jié)構(gòu)有良好的均勻性。反之，又確保了方便可靠的校準(zhǔn)原子力顯微鏡的XYZ三方向的精度。
校準(zhǔn)區(qū)域位于芯片的中心，使用原子力顯微鏡的光學(xué)系統(tǒng)很容易找到。
臺(tái)階高度在20nm范圍內(nèi)，每一個(gè)芯片的精確值都標(biāo)識(shí)在盒子標(biāo)簽上。
芯片上集成了不同形狀和間距的結(jié)構(gòu)陣列。在1*1mm的大區(qū)域內(nèi)包含了間距為10um的方柱孔。在中區(qū)域內(nèi)包含了XY方向間距為5um的圓柱形孔。在小區(qū)域內(nèi)500nm間距的圓形孔。
CS-20NG適用于橫向和縱向的AFM掃描校準(zhǔn)。校準(zhǔn)片的結(jié)構(gòu)對(duì)稱(chēng)性使得校準(zhǔn)原子力顯微鏡時(shí)不需要旋轉(zhuǎn)和調(diào)整校準(zhǔn)片XY刻度的方向。CS-20NG用優(yōu)質(zhì)導(dǎo)電環(huán)氧樹(shù)脂粘在一個(gè)12毫米金屬圓盤(pán)上，并將其用作裝運(yùn)的材料。

技術(shù)資料
橫向尺寸	幾何機(jī)構(gòu)
5*5mm	在11mm平方內(nèi)排列間距為10um的方形孔柱在500500um平方內(nèi)XY方向排列間距為5um的圓形孔柱在100*100um平方內(nèi)分布著間距為500nm的圓形孔
臺(tái)階高度
20nm
每個(gè)校準(zhǔn)片盒子標(biāo)簽上都標(biāo)有明確數(shù)值