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接觸式計量校準片

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問題：當原子力顯微鏡做樣品成像時，很難知道表面是否準確的表征？也許會受針尖的頂端破碎或鈍影響。
破損或鈍的探針針尖會使測量結果有顯著差異，如粗糙度或表面結構等等。
要確保用戶在使用探針時要有適當的提示，必須直接扔掉舊探針或定期使用SEM電鏡檢測，這兩種方法都非常的浪費探針或耗時。

一個SPM樣品可以在原子力顯微鏡的針尖條件下快速、簡便的測定。即使在一個單一的掃描線上，也使之間的差異變得明顯。因此，tipcheck提供了一個快速簡便的方法來比較和分類原子力顯微鏡探針不同的針尖、形狀和清晰度。
您可以很容易的檢查您的AFM探針是否完好，是否已經磨損或破損，從而不需要掃描使用該探針掃描整個樣品圖像或做SEM電鏡掃描檢測。此外，該樣品的完美自動提示和針尖表征軟件在市場上可用。
BudgetSensors Tipcheck樣品是一種非常耐磨的薄膜涂層，沉積在硅芯片上。這層薄膜涂層呈顆粒狀，尖銳的納米機構使得它能在AFM探針針尖反向成像。該Tipcheck模具的尺寸為5*5mm。
下面的圖片顯示了使用不同探針測試tipcheck樣本之間的比較，掃描尺寸為1*1um，高度為100nm。根據下面的形貌圖你可以找到一個具有代表性的斷面圖像。

為什么我們需要高度校準塊？
原子力顯微鏡已經成為一個有價值的工具，不僅用于可視化，而且也可以用于進行精確的納米和微米尺度測量。為了能使原子力顯微鏡最精確的測量，原子力顯微鏡需要正確的校準。
HS-20MG / HS-100MG / HS-500MG作為budgetsensors 高度標準介紹作為增加相應，能負擔原子力顯微鏡的高品質校準標準需求。
HS-20MG / HS-100MG / HS-500MG是一個尺寸為5*5mm且陣列在硅基底上的二氧化硅結構。芯片結構的制造工藝保證了良好的均勻性。這將確保你的AFM系統Z軸方向校準方便可靠。
校準區域位于芯片的中心，使用原子力顯微鏡的光學系統很容易找到。校準結構的臺階高度為20nm（HS-20MG）100nm（HS-100MG）和500nm（HS-500MG）每一個芯片的精確值都標識在盒子標簽上。芯片上集成了不同形狀和間距的結構陣列。在1*1mm的大區域內包含了間距為10um的方柱孔。
在500*500um的小區域內包含了XY方向間距為5um的圓柱形孔。
除了Z軸校準，這樣的設計也讓XY方向有了更大的校準范圍（40~100um以內），而且，校準片的結構對稱性使得校準原子力顯微鏡時不需要旋轉和調整校準片XY刻度的方向。

HS-20MG / HS-100MG / HS-500MG用優質導電環氧樹脂粘在一個12毫米金屬圓盤上，并將其用作裝運的材料。

技術資料
橫向尺寸		幾何結構
5*5mm		在11mm平方內排列間距為10um的方形孔柱在500500um平方內XY方向排列間距為5um的圓形孔柱
臺階高度
HS-20MG	~20nm
HS-100MG	~100nm
HS-500MG	~500nm
每個校準片盒子標簽上都標有明確數值

為什么需要XYZ標定校準？
為了使原子力顯微鏡更精準的測量，必須進行正確校準。因此，更精確的校準標準才能實現原子力顯微鏡更好的測量結果。在這方面，校準的標定標準允許原子力顯微鏡系統的最精確校準。

我們的解決方案：
CS-20NG是一種先進的XYZ標定校準，使校準精度降低到納米級。它的特點是在一個5*5mm的硅芯片上陣列二氧化硅結構。確保整個芯片結構有良好的均勻性。反之，又確保了方便可靠的校準原子力顯微鏡的XYZ三方向的精度。
校準區域位于芯片的中心，使用原子力顯微鏡的光學系統很容易找到。
臺階高度在20nm范圍內，每一個芯片的精確值都標識在盒子標簽上。
芯片上集成了不同形狀和間距的結構陣列。在1*1mm的大區域內包含了間距為10um的方柱孔。在中區域內包含了XY方向間距為5um的圓柱形孔。在小區域內500nm間距的圓形孔。
CS-20NG適用于橫向和縱向的AFM掃描校準。校準片的結構對稱性使得校準原子力顯微鏡時不需要旋轉和調整校準片XY刻度的方向。CS-20NG用優質導電環氧樹脂粘在一個12毫米金屬圓盤上，并將其用作裝運的材料。

技術資料
橫向尺寸	幾何機構
5*5mm	在11mm平方內排列間距為10um的方形孔柱在500500um平方內XY方向排列間距為5um的圓形孔柱在100*100um平方內分布著間距為500nm的圓形孔
臺階高度
20nm
每個校準片盒子標簽上都標有明確數值