2017第八屆中國國際納米技術產業博覽會在蘇州舉辦納米能源材料產業化論壇等15個專業會議,規劃了約200個行業報告,邀請了21名國內外院士,設立了中國納米智慧生活展等5個主題展區,展區面積達13000平方米,展出1300多件納米技術創新產品。上海巨納參加本屆納博會。上海巨納合作伙伴瑞士LYNCEE TEC數字全息顯微鏡產品在現場進行了展示。
瑞士Lyncee Tec SA公司的數字全息顯微鏡“DHM(Digital Holographic Microscopy)是劃時代性的高科技技術產品,科學史上第一次, 數字全息顯微鏡可以直接觀測到納米尺度的分辨率,即時得到樣品三維型貌,并且是無接觸式的無損測量。DHM 1000 Family將波長630nm的半導體激光分成照射到試料的光和參照光兩部分來使用。共包括兩大品種,一種是試料反射光與參照光進行干涉的“R1000 series”,另一種是試料透過光與參照光進行干涉的“T1000 series”。照射到試料上的光線與參照光產生的干涉圖案使用CCD相機,作為數字數據保存下來,由此算出三維數據。計算三維數據時使用的是專用軟件“Koala Software”。
其主要應用是在MEMS研發中用于測量工作,以及在生產線用于缺陷檢測。與上述用途中現在經常使用的共焦顯微鏡相比,在同樣分辨率下能夠更高速地進行測量。垂直方向的分辨率為0.6nm,水平方向為200nm~300nm(取決于物鏡)。使用1.25倍率的物鏡時視野為4mm×4mm,可以15視野/秒的速度進行測量。因此,1cm見方的試料幾分鐘即可完成觀察。使用現有共焦顯微鏡時,同等范圍的觀察則需要幾個小時~10小時。 此次的產品最大可將觀察速度擴展至1萬視野/秒。由于攝影速度快,因此不需除震臺,可用來檢測流水線上的產品。
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